Публікація: Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Державне підприємство Науково-дослідний технологічний інститут приладобудування
Анотація
В статье приведен анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов. Проведенный анализ позволяет определить оптимальные управляющие воздействия, для построение математической модели получения диэлектрических пленок.
Опис
Цитування
Малик Б.О. Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса / Б.О. Малик, Д.В. Гурин // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – с. 27–30.