Публікація: Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса
Завантаження...
Дата
2018
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Державне підприємство Науково-дослідний технологічний інститут приладобудування
Анотація
В статье приведен анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов. Проведенный анализ позволяет определить оптимальные управляющие воздействия, для построение математической модели получения диэлектрических пленок.
Опис
Ключові слова
диэлектрические пленки, вольтамперные характеристики, электрические свойства пленок, управляющие воздействия, катодное распыление.
Бібліографічний опис
Малик Б.О. Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса / Б.О. Малик, Д.В. Гурин // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – с. 27–30.