Публікація: Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии
Завантаження...
Дата
2012
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Вебер
Анотація
Рассмотрен алгоритм восстановления рас пределения по глубине электрических свойств полупроводниковых материалов в методе микроволнового сканирования учился. Для анализа полученных данных используется итерационный метод последовательных возмущений.
Опис
Ключові слова
полупроводниковые материалы, микроволновое сканирование, микроволновая сканирующая микроскопия, микроволновая сканирующая томография
Бібліографічний опис
Гордиенко, Ю. Е. Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 22-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2012), 10-14 сент. 2012 г. - Севастополь : Вебер, 2012. - Т. 2. - С. 621-622.