Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии

Гордиенко, Ю. Е.; Ларкин, С. Ю.; Мельник, С. И.; Слипченко, Н. И.

Публікація:
Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Ларкин, С. Ю.
dc.contributor.author	Мельник, С. И.
dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.date.accessioned	2016-07-12T11:55:13Z
dc.date.available	2016-07-12T11:55:13Z
dc.date.issued	2012
dc.description.abstract	Рассмотрен алгоритм восстановления рас пределения по глубине электрических свойств полупроводниковых материалов в методе микроволнового сканирования учился. Для анализа полученных данных используется итерационный метод последовательных возмущений.	uk_UA
dc.identifier.citation	Гордиенко, Ю. Е. Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 22-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2012), 10-14 сент. 2012 г. - Севастополь : Вебер, 2012. - Т. 2. - С. 621-622.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/1475
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Вебер	uk_UA
dc.subject	полупроводниковые материалы	uk_UA
dc.subject	микроволновое сканирование	uk_UA
dc.subject	микроволновая сканирующая микроскопия	uk_UA
dc.subject	микроволновая сканирующая томография	uk_UA
dc.title	Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии	uk_UA
dc.type	Conference proceedings	uk_UA
dspace.entity.type	Publication