Публікація:
Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2010

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

Вебер

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

Рассмотрен алгоритм восстановления рас пределения по глубине электрических свойств полупроводниковых материалов в методе микроволнового сканирования учился. Для анализа полученных данных используется итерационный метод последовательных возмущений.

Опис

Ключові слова

полупроводниковые материалы, микроволновое сканирование, микроволновая сканирующая микроскопия, микроволновая сканирующая томография

Бібліографічний опис

Гордиенко, Ю. Е. Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 22-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2012), 10-14 сент. 2012 г. - Севастополь : Вебер, 2012. - Т. 2. - С. 621-622.

DOI