Основные аспекты общей теории сканирующей микроволновой микроскопии

Abstract

Приведены результаты численного, численно-аналитического и экспериментального исследования сигналообразования в сканирующей микроволновой микроскопии (СММ). Численное моделирование электродинамических характеристик взаимодействия коаксиального резонаторного микрозонда с диэлектрическими и полупроводниковыми объектами позволило установить зависимости сигналов первичного преобразования информации от геометрии апертуры зонда и электрофизических параметров объекта. Численно-аналитические и экспериментальные исследования последетекторного преобразования сигналов определили общие теоретические аспекты различных способов этой части сигналообразования. В целом созданы предпосылки формирования общей теории СММ.