Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок

Гурін, Д. В.; Нікітін, Д. О.

Публікація:
Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок

dc.contributor.author	Гурін, Д. В.
dc.contributor.author	Нікітін, Д. О.
dc.date.accessioned	2024-02-25T17:37:33Z
dc.date.available	2024-02-25T17:37:33Z
dc.date.issued	2022
dc.description.abstract	Для розробки програмно-апаратного комплекса для керування технологічним процесом осадження наноструктурованих діелектричних плівок за допомогою технології напилення у магнетронній камері необхідно розробити систему керування устаткуванням. Задля виконання поставленої задачі необхідно використати розроблену математичну модель та розробити схему керування, що дозволить автоматизувати процес напилення наноструктурованих діелектричних плівок. Розроблена в SIMULINK модель дає можливість розробити систему управління осадженням на базі плат arduino duo та ruramps, що дозволить автоматизувати процес напилення наноструктурованих діелектричних плівок.
dc.identifier.citation	Нікітін Д. О. Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок / Д. В. Гурін, Д. О. Нікітін // Напівпровідникові матеріали, інформаційні технології та фотовольтаїка : тези доп. VIІ Міжнар. наук.-практ. конф. 2022. – Кременчук : Кременчуцький нац. ун-т ім. Михайла Остроградського, 2022. – С. 47-48.
dc.identifier.issn	2222-4386
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/25713
dc.language.iso	uk
dc.subject	керування технологічним процесом
dc.subject	наноструктуровані діелектричні плівки
dc.subject	напилення
dc.subject	SIMULINK
dc.title	Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок
dc.type	Conference proceedings
dspace.entity.type	Publication