Публікація:
Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorГурін, Д. В.
dc.contributor.authorНікітін, Д. О.
dc.date.accessioned2024-02-25T17:37:33Z
dc.date.available2024-02-25T17:37:33Z
dc.date.issued2022
dc.description.abstractДля розробки програмно-апаратного комплекса для керування технологічним процесом осадження наноструктурованих діелектричних плівок за допомогою технології напилення у магнетронній камері необхідно розробити систему керування устаткуванням. Задля виконання поставленої задачі необхідно використати розроблену математичну модель та розробити схему керування, що дозволить автоматизувати процес напилення наноструктурованих діелектричних плівок. Розроблена в SIMULINK модель дає можливість розробити систему управління осадженням на базі плат arduino duo та ruramps, що дозволить автоматизувати процес напилення наноструктурованих діелектричних плівок.
dc.identifier.citationНікітін Д. О. Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок / Д. В. Гурін, Д. О. Нікітін // Напівпровідникові матеріали, інформаційні технології та фотовольтаїка : тези доп. VIІ Міжнар. наук.-практ. конф. 2022. – Кременчук : Кременчуцький нац. ун-т ім. Михайла Остроградського, 2022. – С. 47-48.
dc.identifier.issn2222-4386
dc.identifier.urihttps://openarchive.nure.ua/handle/document/25713
dc.language.isouk
dc.subjectкерування технологічним процесом
dc.subjectнаноструктуровані діелектричні плівки
dc.subjectнапилення
dc.subjectSIMULINK
dc.titleМоделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок
dc.typeConference proceedings
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
Gurin.pdf
Розмір:
54.42 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.55 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра комп’ютерно-інтегрованих технологій, автоматизації та робототехніки (КІТАР)