Публікація: Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок
Завантаження...
Файли
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Анотація
Для розробки програмно-апаратного комплекса для керування технологічним процесом осадження наноструктурованих діелектричних плівок за допомогою технології напилення у магнетронній камері необхідно розробити систему керування устаткуванням. Задля виконання поставленої задачі необхідно використати розроблену математичну модель та розробити схему керування, що дозволить автоматизувати процес напилення наноструктурованих діелектричних плівок. Розроблена в SIMULINK модель дає можливість розробити систему управління осадженням на базі плат arduino duo та ruramps, що дозволить автоматизувати процес напилення наноструктурованих діелектричних плівок.
Опис
Ключові слова
керування технологічним процесом, наноструктуровані діелектричні плівки, напилення, SIMULINK
Цитування
Нікітін Д. О. Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок / Д. В. Гурін, Д. О. Нікітін // Напівпровідникові матеріали, інформаційні технології та фотовольтаїка : тези доп. VIІ Міжнар. наук.-практ. конф. 2022. – Кременчук : Кременчуцький нац. ун-т ім. Михайла Остроградського, 2022. – С. 47-48.