Исследование взаимодействия СВЧ-резонаторов с неоднородно легированными по толщине полупроводниковыми слоями

Гордиенко, Ю. Е.; Бородин, Б. Г.; Свидерская, Л. И.

Публікація:
Исследование взаимодействия СВЧ-резонаторов с неоднородно легированными по толщине полупроводниковыми слоями

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Бородин, Б. Г.
dc.contributor.author	Свидерская, Л. И.
dc.date.accessioned	2023-02-14T17:08:00Z
dc.date.available	2023-02-14T17:08:00Z
dc.date.issued	1987
dc.description.abstract	Рассмотрены вопросы исследования неоднородно легированных по глубине полупроводниковых структур на СВЧ с помощью Н012-цилиндрического резонатора. С использованием одномодового приближения и вариационного метода рассчитаны зависимости добротности резонатора и сигнала фотопроводимости на его выходе от уровня включения неоднородно легированного образца в поле резонатора и параметров профиля легирования. Построены градуировочные характеристики для двухпараметрового контроля диффузионных структур при известном законе распределения электропроводности по их глубине. Обоснованы методики измерения.
dc.identifier.citation	Гордиенко Ю. Е. Исследование взаимодействия СВЧ-резонаторов с неоднородно легированными по толщине полупроводниковыми слоями / Ю. Е. Гордиенко, Б. Г. Бородин, Л. И. Свидерская // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1987. – Вып. 83. – С. 31–37.
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/21871
dc.language.iso	other
dc.publisher	Вища школа
dc.subject	радиотехника
dc.subject	резонатор
dc.title	Исследование взаимодействия СВЧ-резонаторов с неоднородно легированными по толщине полупроводниковыми слоями
dc.type	Article
dspace.entity.type	Publication