Публікація: Исследование взаимодействия СВЧ-резонаторов с неоднородно легированными по толщине полупроводниковыми слоями
Завантаження...
Дата
1987
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Вища школа
Анотація
Рассмотрены вопросы исследования неоднородно легированных по глубине
полупроводниковых структур на СВЧ с помощью Н012-цилиндрического резонатора. С использованием одномодового приближения и вариационного метода рассчитаны зависимости добротности резонатора и сигнала фотопроводимости на его выходе от уровня включения неоднородно
легированного образца в поле резонатора и параметров профиля легирования.
Построены градуировочные характеристики для двухпараметрового контроля диффузионных структур при известном законе распределения
электропроводности по их глубине. Обоснованы методики измерения.
Опис
Ключові слова
радиотехника, резонатор
Бібліографічний опис
Гордиенко Ю. Е. Исследование взаимодействия СВЧ-резонаторов с неоднородно легированными по толщине полупроводниковыми слоями / Ю. Е. Гордиенко, Б. Г. Бородин, Л. И. Свидерская // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1987. – Вып. 83. – С. 31–37.