Мікроелектромеханічні системи у сучасних наносенсорах

Березанский, А. В.; Пашнев, Д. О.; Глухов, О. В.

Публікація:
Мікроелектромеханічні системи у сучасних наносенсорах

dc.contributor.author	Березанский, А. В.
dc.contributor.author	Пашнев, Д. О.
dc.contributor.author	Глухов, О. В.
dc.date.accessioned	2019-05-30T12:18:17Z
dc.date.available	2019-05-30T12:18:17Z
dc.date.issued	2019
dc.description.abstract	Modern production is focused on minimizing the design and size of modern devices. This is achieved by introducing MEMS into production. Popularity of use in modern electronic devices MEMS is explained by a number of their main advantages: miniaturization, high functionality, reliability, low power consumption, integration of electronics with mechanical, optical and other nodes, high manufacturability and repeatability, the ability to achieve very low-cost (with large production volumes), small scatter of parameters within one batch of products. In the work the analysis of microconsole bending methods is conducted.	uk_UA
dc.identifier.citation	Березанский А. В. Мікроелектромеханічні системи у сучасних наносенсорах / А. В. Березанский, Д. О. Пашнев, О. В. Глухов // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : зб. тез. доп. ХХІІI Харків. конф. молодих науковців, 16–18 квіт. 2019 р. – Харків, 2019. – С. 11.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/9063
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	Мікроелектромеханічні системи	uk_UA
dc.subject	наносенсори	uk_UA
dc.title	Мікроелектромеханічні системи у сучасних наносенсорах	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication