Публікація: Дослідження дисперсійних характеристик поверхневих акустичних хвиль
Завантаження...
Дата
2019
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
У атестаційній роботі розглядається дисперсійна лінія затримка на ПАХ. Розраховано параметри та геометрію лінії затримки. Обрано матеріал. Розроблено топологію лінії затримки та описано технологію її виготовлення.
Опис
Ключові слова
ніобат літію, фотолітографія, лінія затримки, акустичні хвилі
Бібліографічний опис
Вихляєв М. О. Дослідження дисперсійних характеристик поверхневих акустичних хвиль : атестаційна робота здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 153 Мікро- та наносистемна техніка / М. О. Вихляєв : М-во освіти і науки України, ХНУРЕ. – Харків, 2019. - 59 с.