Публікація: Дослідження дисперсійних характеристик поверхневих акустичних хвиль
Завантаження...
Файли
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Анотація
У атестаційній роботі розглядається дисперсійна лінія затримка на ПАХ. Розраховано параметри та геометрію лінії затримки. Обрано матеріал. Розроблено топологію лінії затримки та описано технологію її виготовлення.
Опис
Ключові слова
ніобат літію, фотолітографія, лінія затримки, акустичні хвилі
Цитування
Вихляєв М. О. Дослідження дисперсійних характеристик поверхневих акустичних хвиль : атестаційна робота здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 153 Мікро- та наносистемна техніка / М. О. Вихляєв : М-во освіти і науки України, ХНУРЕ. – Харків, 2019. - 59 с.