Радиофизические аспекты исследования структурно упорядоченных областей в аморфных полупроводниках

Abstract

Рассмотрены новые аспекты СВЧ-метода исследования аморфных полупроводников, содержащих структурно упорядоченные области. Предложен вариант методики исследования кинетики кристаллизации таких полупроводников, базирующийся на измерении фазовых сдвигов СВЧ-колебаний в резонаторе с кристаллизующимся образцом. Показано теоретически и экспериментально, что методика позволяет существенно упростить исследования и повысить их точность при отклонении геометрии образцов от номинала. Другой аспект связан с использованием сигналов фотопроводимости, образующихся при СВЧ-смещении, как для оценки объемного содержания упорядоченных областей, так и для исследования их электрофизических свойств. Важной его особенностью является возможность отдельного исследования удельной электропроводности указанных областей в аморфной матрице