Розробка імітаційної моделі технологічного процесу виготовлення МЕМС-акселерометрів

Abstract

Об’єкт дослідження – технологічний процес (ТП) виготовлення МЕМС-акселерометра. Предмет дослідження – функціональні характеристики ТП виготовлення МЕМС-акселерометра. Мета роботи – підвищення точності визначення функціональних характеристик ТП виготовлення МЕМС-акселерометрів за рахунок розробки адекватної імітаційної моделі. Методи дослідження – системний підхід, теорія ймовірностей, математична статистика, імітаційне моделювання, планування експериментів. Для моделювання ТП було розроблено його імітаційну модель як багатофазної системи масового обслуговування. Розроблений моделювальний алгоритм реалізовано мовою імітаційного моделювання у середовищі пакету програм GPSS W. Створена імітаційна модель чи її модифікації можуть застосовуватися на підприємствах і в організаціях, де вирішуються задачі проєктування чи керування ТП виготовлення МЕМС-акселерометрів. Практичне використання розробленої моделі дозволить за рахунок врахування стохастичного характеру складових процесу підвищити точність визначення його функціональних характеристик. Отримані результати апробовані на 3-х міжнародних науково-практичних конференціях.