Публікація: Моделювання спрацьовування високочастотного MEMS-перемикача під впливом різних частот
Немає доступних мініатюр
Дата
2019
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
Об’єкт дослідження – процес спрацьовування високочастотного МЕМС-перемикача. Предмет дослідження – механічне спрацьовування ВЧ МЕМС-перемикача під впливом частот. Мета магістерської атестаційної роботи – провести дослідження ВЧ МЕМС-перемикача, виконати симуляцію під впливом різних частот в AWR Design Environment та промоделювати механічне спрацювання у COMSOL Multiphysics. Методи дослідження – математичні методи розрахунку, методи електромеханічного моделювання в AWR, метод симуляції у COMSOL Multiphysics. В роботі приведені розрахунки напруги спрацьовування для електромеханічної моделі МЕМС-перемикача, коефіцієнту пружності мембрани, внутрішньої напруги в мембрані та проектування і моделювання еквівалентної електричної схеми. На базі отриманих розрахунків розроблена 3D модель ВЧ МЕМС-перемикача. Для доведення правильності розрахунків проведене моделювання, яке визначило значення механічних властивостей, напругу спрацьовування та жорсткість пружини. Результати магістерської атестаційної роботи апробовані на конференції M&MS 2019.
Опис
Ключові слова
MEMS, перемикач, кантилевер, awr design environment, comsol, matlab, мембрана
Бібліографічний опис
Захарова К. С. Моделювання спрацьовування високочастотного MEMS-перемикача під впливом різних частот : пояснювальна записка до атестаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 151 – Автоматизація та комп'ютерно-інтегровані технології / К. С. Захарова ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки, кафедра комп’ютерно-інтегрованих технологій, автоматизації та мехатроніки. – Харків, 2019. – 81 с.