Публікація: Техника микроволнового контроля в полупроводниковом материаловедении
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЭ
Анотація
Приводятся результаты разработки схем микроволновой диагностики полупроводников, предназначенных для измерения следующих параметров полупроводниковых материалов и структур: электропроводность;
фотопроводимость; время жизни, скорость поверхностной рекомбинации и подвижность носителей заряда; толщина слоев. Схемы построены на микрополосковых линиях с применением программного пакета Microwave
Office.
Опис
Ключові слова
микроволновая диагностика, фотопроводимость
Цитування
Бородин Б. Г. Техника микроволнового контроля в полупроводниковом материаловедении / Б. Г. Бородин, Абуанзех Ияд, В. В. Ананьин // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 2002. – Вып. 130. – С. 79–84.