Принципы разработки емкостных датчиков влажности газовых сред

Публікація:
Принципы разработки емкостных датчиков влажности газовых сред

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Гуд, Ю. И.
dc.contributor.author	Пашков, А. В.
dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.date.accessioned	2019-09-26T08:27:06Z
dc.date.available	2019-09-26T08:27:06Z
dc.date.issued	2001
dc.description.abstract	Рассматриваются принципы построения емкостных тонкопленочных датчиков влажности газовых сред, направленные на повышение их метрологической эффективности.	uk_UA
dc.identifier.citation	Принципы разработки емкостных датчиков влажности газовых сред / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд, А. В. Пашков, Слипченко Н. И. // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХТУРЭ, 2001. – Вып. 2. – С. 38–41.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/9801
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХТУРЭ	uk_UA
dc.subject	тонкопленочный датчик	uk_UA
dc.subject	влажность газовых сред	uk_UA
dc.subject	метрологическая эффективность	uk_UA
dc.title	Принципы разработки емкостных датчиков влажности газовых сред	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication