Публікація: Принципы разработки емкостных датчиков влажности газовых сред
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХТУРЭ
Анотація
Рассматриваются принципы построения емкостных тонкопленочных датчиков влажности газовых сред, направленные на повышение их метрологической эффективности.
Опис
Ключові слова
тонкопленочный датчик, влажность газовых сред, метрологическая эффективность
Цитування
Принципы разработки емкостных датчиков влажности газовых сред / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд, А. В. Пашков, Слипченко Н. И. // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХТУРЭ, 2001. – Вып. 2. – С. 38–41.