Застосування спектральних методів діагностики газоразрядної плазми в технології розпилювання

Abstract

Об’єкт дослідження - спектр випромінювання магнітронного розряду. Мета роботи – дослідження методів та вимірювання спектрів випромінювання плазми газового магнітронного розряду. Метод - аналітичний огляд методів дослідження спектрів газового розряду,аналіз літературних джерел і інтернет ресурсів. Актуальність: Використання магнітронного розряду є основною технологію нанесення плівок в мікроелектроніці і використання спектральних методів діагностики є інформативним і дистанційним способом контролю технологічних процесів.У сучасних умовах розвитку нанотехнологій, тонкоплівкової електроніки та функціональних покриттів, технології розпилювання (зокрема, магнетронного, іонно-плазмового тощо) відіграють ключову роль у створенні високоякісних плівок з контрольованими властивостями. Одним із критичних чинників, що визначає характеристики кінцевого матеріалу, є стан плазми в розрядному просторі.