Публікація:
Частотные методы измерения линейных наноразмеров

Спрощена сторінка документу
dc.contributor.authorМачехин, Ю. П.
dc.contributor.authorДанелян, А. Г.
dc.contributor.authorГарибашвили, Д. И.
dc.date.accessioned2019-05-15T20:42:22Z
dc.date.available2019-05-15T20:42:22Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractВ лучших системах с применением лазерных интерферометров перемещений (ЛИП), которые созданы для метрологического обеспечения измерений длин в нанометровом диапазоне, обеспечиваются измерения малых длин в диапазоне с разрешающей способностью порядка 0,03-0,02 нм.uk_UA
dc.identifier.citationМачехн Ю. П. Частотные методы измерения линейных наноразмеров. / Ю. П. Мачехин, А. Д. Данелян, Д. И. Гарибашвили // 1-я Международная научная конференция «электронная компонентная база. Состояние и перспективы развития » - 2008 - стр. 236-240uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/8690
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectинтерферометрuk_UA
dc.subjectлазерuk_UA
dc.titleЧастотные методы измерения линейных наноразмеровuk_UA
dc.typeAbstract of Thesisuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Показано 1 - 1 з 1
Мініатюра зображення
Назва:
Тбилиси_Данелян_Метод.doc
Розмір:
70 KB
Формат:
Microsoft Word
Опис:
Частотные методы измерения линейных наноразмеров (тези)
Завантажити

Пакунок ліцензії

Показано 1 - 1 з 1
Мініатюра зображення
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра фізичних основ електронної техніки (ФОЕТ)