Публікація:
Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorЛукин, К. А.
dc.contributor.authorМачехин, Ю. П.
dc.contributor.authorДанаилов, М. Б.
dc.contributor.authorТатьянко, Д. Н.
dc.date.accessioned2016-06-22T11:14:06Z
dc.date.available2016-06-22T11:14:06Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractThe paper presents results of the optical interferometry investigations with use of low-coherent optical sources beyond their coherence zone. It is shown that when the path difference of arms in Michelson interferometer exceeds the coherence length of light-emitting diode radiation, the interference pattern in spectral domain enables to perform absolute measurements of micro and nano distances due to its dependence on both time delay and relative phase of the signals. Недостаточная кратковременная стабильность частоты лазера не позволяет выполнять интерферометрические измерения микро и нано расстояний, что существенно ограничивает применение лазерных интерферометров для измерения нано расстояний.uk_UA
dc.identifier.citationИзмерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне / К. А. Лукин и другие // Функциональная компонентная база микро-, опто- и наноэлектроники : сб. науч. тр. ІІІ Междунар. науч. конф., 28 сент. – 2 окт. 2010 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2010. – С. 72-75.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/1118
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectинтерферометрические измеренияuk_UA
dc.subjectметод спектральной интерферометрииuk_UA
dc.subjectстабильность частоты лазераuk_UA
dc.titleИзмерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазонеuk_UA
dc.typeConference proceedingsuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
1(72-75).doc
Розмір:
345.5 KB
Формат:
Microsoft Word
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

3 Международная научная конференция "Функциональная компонентная база микро-,опто- и наноэлектроники. Харьков-Кацивели 2010
Кафедра фізичних основ електронної техніки (ФОЕТ)