Исследование деградации в системе Nb - Nb2О5 электрографическим методом

Чубукін, О. С.

Публікація:
Исследование деградации в системе Nb - Nb2О5 электрографическим методом

dc.contributor.author	Чубукін, О. С.
dc.date.accessioned	2021-12-28T15:04:42Z
dc.date.available	2021-12-28T15:04:42Z
dc.date.issued	2021
dc.description.abstract	Исследовалась деградация электрофизических параметров тонких пленок системы Nb-Nb2O5 путем анализа пространственного распределения неоднородностей в них после отжига электрографическим методом. Установлено, что при температуре отжига до 250С деградация электрофизических параметров пленок осуществлялась вследствие зернограничной диффузии кислорода внутрь подложек Nb. При температуре отжига выше 250 С деградация тех же параметров осуществлялась вследствие объемной диффузии кислорода кислорода внутрь подложек Nb. Отжиг при температурах больших 300 С вызывал деградацию пленок Nb2O5, связанную с их локальной кристаллизацией..	uk_UA
dc.identifier.citation	Чубукин А. С. Исследование деградации в системе Nb - Nb2О5 электрографическим методом / А. С. Чубукин // Priority directions of science and technology development : Proceedings of the 9th International scientific and practical conference. SPC “Sci-conf.com.ua”. - Kyiv, Ukraine. 2021. - Pp. 421-427.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/18825
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.subject	дефекты в диэлектрических пленках	uk_UA
dc.subject	метод электрографии	uk_UA
dc.subject	деградация электрофизических параметров диэлектрических пленок	uk_UA
dc.title	Исследование деградации в системе Nb - Nb2О5 электрографическим методом	uk_UA
dc.type	Conference proceedings	uk_UA
dspace.entity.type	Publication