Автоматизация средств контроля технологического процесса изготовления интегральных схем

Патров, Д. О.; Карнаушенко, В. П.

Публікація:
Автоматизация средств контроля технологического процесса изготовления интегральных схем

dc.contributor.author	Патров, Д. О.
dc.contributor.author	Карнаушенко, В. П.
dc.date.accessioned	2019-05-19T21:26:53Z
dc.date.available	2019-05-19T21:26:53Z
dc.date.issued	2018
dc.description.abstract	The automation of the means of control of the technological process of manufacturing of integrated circuits allows to measurement of the parameters of integrated circuits (thickness of thin films, their structural homogeneity) with high precision and also considerably reduces influence of a human factor on technological process.	uk_UA
dc.identifier.citation	Патров Д. О. Автоматизация средств контроля технологического процесса изготовления интегральных схем / Д. О. Патров, В. П. Карнаушенко // Радіоелектроніка та молодь у ХХІІ столітті : зб. тез. доп. ХХI Харків. конф. молодих науковців, 17–19 квіт. 2018 р. – Харків, 2018. – С. 27.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/8811
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	Автоматизация средств контроля	uk_UA
dc.subject	Интегральные схемы	uk_UA
dc.title	Автоматизация средств контроля технологического процесса изготовления интегральных схем	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication