Вакуумная установка для получения и исследования физических параметров тонких полупроводниковых пленок

Abstract

В последние годы проявляется повышенный интерес к исследованиям физических параметров тонких слоев высокоомных полупроводников, нанесенных на проводящую подложку. Такие исследования имеют как самостоятельное, так и большое прикладное значение. Например, широко используются в настоящее время высокоомные полупроводники в технике телевизионных передающих трубок (видиконов), в электрофотографии и других областях.