Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках

Гордиенко, Ю. Е.; Гуд, Ю. И.

Публікація:
Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Гуд, Ю. И.
dc.date.accessioned	2022-04-22T12:36:44Z
dc.date.available	2022-04-22T12:36:44Z
dc.date.issued	1987
dc.description.abstract	Проведена оптимизация параметров СВЧ измерительных преобразователей (ИП) накладного типа на основе цилиндрических резонаторов с H012-, E 022-видами колебаний, применяемых для неразрушающего контроля толщины и электропроводности полупроводниковых пленок на низкоомных подложках.	uk_UA
dc.identifier.citation	Гордиенко Ю. Е. Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1987. – Вып. 80. – С. 105–112.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/20202
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Вища школа	uk_UA
dc.subject	радиотехника	uk_UA
dc.subject	полупроводниковые пленки	uk_UA
dc.title	Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication