Публікація: Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках
Завантаження...
Дата
1987
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Вища школа
Анотація
Проведена оптимизация параметров СВЧ измерительных преобразователей (ИП) накладного типа на основе цилиндрических резонаторов с H012-, E 022-видами колебаний, применяемых для неразрушающего контроля толщины и электропроводности полупроводниковых пленок на низкоомных подложках.
Опис
Ключові слова
радиотехника, полупроводниковые пленки
Бібліографічний опис
Гордиенко Ю. Е. Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1987. – Вып. 80. – С. 105–112.