Публікація: Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Вища школа
Анотація
Проведена оптимизация параметров СВЧ измерительных преобразователей (ИП) накладного типа на основе цилиндрических резонаторов с H012-, E 022-видами колебаний, применяемых для неразрушающего контроля толщины и электропроводности полупроводниковых пленок на низкоомных подложках.
Опис
Ключові слова
радиотехника, полупроводниковые пленки
Цитування
Гордиенко Ю. Е. Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1987. – Вып. 80. – С. 105–112.