Публікація: Оценивание неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения растрового электронного микроскопа
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЕ
Анотація
Для использования растровой электронной микроскопии в качестве средства измерительной техники необходимо производить его калибровку с помощью вещественных носителей размера – мер с программируемым нанорельефом поверхности. Представлена процедура оценивания неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ, выполненная на основе метода эксцессов, включающая бюджет неопределенности, позволяющий автоматизировать процесс оценки неопределенности и повысить достоверность получаемых результатов.
Опис
Ключові слова
неопределенность измерений, электронный микроскоп
Цитування
Неежмаков К. П. Оценивание неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения растрового электронного микроскопа / К. П. Неежмаков // // Метрологія, інформаційно-вимірювальні технології та системи (МІВТС-2020) : матеріали VII Міжнар. наук.-практ. конф., 18–19 лютого 2020 р. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – С. 96.