Визначення рекомбінаційних параметрів напівпровідників за допомогою неруйнівних методів

Бабиченко, С. В.

Публікація:
Визначення рекомбінаційних параметрів напівпровідників за допомогою неруйнівних методів

dc.contributor.author	Бабиченко, С. В.
dc.date.accessioned	2024-08-22T12:29:15Z
dc.date.available	2024-08-22T12:29:15Z
dc.date.issued	2024
dc.description.abstract	There are a large number of different methods aimed at ensuring control of various parameters of semiconductor structures. All of them are not universal and each has its limitations. At the same time, semiconductor materials and structures can be quite completely and qualitatively studied using non-destructive contactless resonator and waveguide microwave methods. Universal methods and equipment for microwave monitoring have been developed, which allow multi parameter monitoring. The creation of universal methods and tools for microwave diagnostics of semiconductor structures is an important area of research. These methods enhance the understanding of material properties, optimize manufacturing processes and improve the efficiency of semiconductor applications in various fields such as electronics, photonics and sensors
dc.identifier.citation	Бабиченко С. В. Визначення рекомбінаційних параметрів напівпровідників за допомогою неруйнівних методів / С. В. Бабиченко ; наук. керівник к. ф-м. н., доцент О. Б. Галат // Радіоелектроніка та молодь у XXI столітті : матеріали 28-го Міжнар. молодіж. форуму, 16–18 квіт. 2024 р. – Харків : ХНУРЕ, 2024. – Т. 1. – С. 48–50. – DOI: https://doi.org/10.30837/IYF.ELBE.2024.048.
dc.identifier.doi	https://doi.org/10.30837/IYF.ELBE.2024.048
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/27909
dc.language.iso	uk
dc.publisher	ХНУРЕ
dc.subject	рекомбінаційні параметри напівпровідників
dc.subject	якість напівпровідникових матеріалів
dc.title	Визначення рекомбінаційних параметрів напівпровідників за допомогою неруйнівних методів
dc.type	Thesis
dspace.entity.type	Publication