Резонаторні та хвилеводні мікрохвильові сенсори в дослідженні властивостей напівпровідників

Abstract

Об’єктом дослідження є процеси взаємодії електромагнітного поля в мікрохвильовому (НВЧ) діапазоні з твердотільними матеріалами — зокрема, напівпровідниковими та діелектричними — у межах резонаторних і хвилеводних сенсорних структур. Така взаємодія лежить в основі методів безконтактної діагностики та дозволяє отримати інформацію про електрофізичні параметри матеріалів, зокрема діелектричну проникність, електропровідність, втрати та інші характеристики, що важливі для застосування в електроніці, радіотехніці та матеріалознавстві. Мета роботи — здійснити комплексне дослідження методів мікрохвильової діагностики електрофізичних властивостей матеріалів шляхом аналізу взаємодії електромагнітного поля з тестовими зразками в різних типах НВЧ структур.