Аналiз iтерферометрiв для контролю форм поверхонь

Публікація:
Аналiз iтерферометрiв для контролю форм поверхонь

dc.contributor.author	Стеценко, К. В.
dc.date.accessioned	2020-06-21T09:59:06Z
dc.date.available	2020-06-21T09:59:06Z
dc.date.issued	2020
dc.description.abstract	На основі літературних даних і публікацій аналізуються різні типи інтерферометра. Розглянуті основні переваги і недоліки різних типів інтерферометрів.	uk_UA
dc.identifier.citation	Стеценко К. В. Аналiз iтерферометрiв для контролю форм поверхонь / К. В. Стеценко // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2020) : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – Вип. 1. – С. 100–105.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/12278
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	інтерферометри	uk_UA
dc.title	Аналiз iтерферометрiв для контролю форм поверхонь	uk_UA
dc.type	Other	uk_UA
dspace.entity.type	Publication