Примеры использования МЭМС устройств

Публікація:
Примеры использования МЭМС устройств

dc.contributor.author	Бондаренко, Ю. В.
dc.date.accessioned	2023-02-23T15:23:22Z
dc.date.available	2023-02-23T15:23:22Z
dc.date.issued	2019
dc.description.abstract	In the materials reviewed information on microelectromechanical sys-tems, examples of the use of MEMS devices in various devices
dc.identifier.citation	Бондаренко Ю. В. Примеры использования МЭМС устройств / Ю. В. Бондаренко // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : матеріали 23 Міжнар. молодіж. форуму, 16–18 квітня 2019 р. – Харків : ХНУРЕ, 2019. – Т. 2. – С. 25–26.
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/22170
dc.language.iso	uk
dc.publisher	ХНУРЕ
dc.title	Примеры использования МЭМС устройств
dc.type	Conference proceedings
dspace.entity.type	Publication