Публікація: Численное моделирование процессов тепло- и массобмена при выращивании монокристаллов методом Чохральского
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЭ
Анотація
Рассматривается проблема выращивания кристаллов из расплава методом Чохральского. Анализируется влияние способа подвода тепла, угловых скоростей вращения кристалла и тигля, радиуса кристалла на картину течения и концентрацию примесей в зоне кристаллизации.
Опис
Ключові слова
выращивание кристаллов, вращение кристалла
Цитування
Численное моделирование процессов тепло- и массобмена при выращивании монокристаллов методом Чохральского / А. Д. Тевяшев, В. С. Суздаль, Ю. М. Бородавко, А. А. Пелипец // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – 2002. – Вып. 1. – С. 12–16.