Публікація:
Дефектоутворення, як основа Defect Engineering в МЕМС та МОЕМС

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorЧала, О. О.
dc.date.accessioned2020-08-25T10:06:51Z
dc.date.available2020-08-25T10:06:51Z
dc.date.issued2020
dc.description.abstractВ роботі поставлено мету виділення основних дефектів, що утворюються при використанні кремнію, як матеріалу, для виготовлення підкладок мікроелектромеханічних систем (МЕМС) та мікрооптоелектромеханічних систем (МОЕМС). Показано, що моделювання і відображення процесів розвитку виробничих дефектів для передбачення параметричних відмов, зміни і коректування технологічних процесів виробництва МЕМС та МОЕМС є актуальним науково-практичним завданням, яке можна спробувати вирішити на основі defect engineering.uk_UA
dc.identifier.citationЧала О. О. Дефектоутворення, як основа Defect Engineering в МЕМС та МОЕМС / О. О. Чала // НТЖ «Технология приборостоения». – Харьков. – 2020. – № 1. – С. 78–81.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/12771
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherНТЖ «Технология приборостоения»uk_UA
dc.subjectдефектоутворенняuk_UA
dc.subjectтехнологічний процесuk_UA
dc.subjectМЕМСuk_UA
dc.subjectМОЕМСuk_UA
dc.subjectкремнієві структуриuk_UA
dc.subjectпідкладки МЕМСuk_UA
dc.subjectdefect engineeringuk_UA
dc.titleДефектоутворення, як основа Defect Engineering в МЕМС та МОЕМСuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
Chala_O.pdf
Розмір:
521.51 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра комп’ютерно-інтегрованих технологій, автоматизації та робототехніки (КІТАР)