Публікація:
Реализация импульсного режима питания магнетронно-распылительной системы под управлением микроконтроллера

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorКорж, А. В.
dc.contributor.authorБородин, А. В.
dc.date.accessioned2019-04-22T12:45:00Z
dc.date.available2019-04-22T12:45:00Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractTechnology application of high-quality thin films and coatings on a variety of products is critical for electronics, optics and other branches of engineering. The main problem consists of the low deposition rate, low efficiency of industrial sputtering systems, chemical reaction of the sprayed material with the reaction gas. In most cases, these problems are related to the power source of sputtering systems. This work is aimed at improving the efficiency of power supplies magnetron-sputtering systems.uk_UA
dc.identifier.citationКорж А. В. Реализация импульсного режима питания магнетронно-распылительной системы под управлением микроконтроллера / А. В. Корж, А. В. Бородин // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : зб. тез. доп. ХХI Харків. конф. молодих науковців, 25–27 квіт. 2017 р. – Харків, 2017. – С. 33.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/8441
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЕuk_UA
dc.subjectМагнетронно-распылительная системаuk_UA
dc.subjectМикроконтроллерuk_UA
dc.titleРеализация импульсного режима питания магнетронно-распылительной системы под управлением микроконтроллераuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
Realizatsiya_impulsnogo_rezhima_pitaniya_magnetronno_raspylitelnoy_sistemy.pdf
Розмір:
196.73 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕЕПП)