Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок

Светличный, В. А.; Хорошайло, Ю. Е.; Мулявка, О. В.; Сова, А. В.

Публікація:
Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок

dc.contributor.author	Светличный, В. А.
dc.contributor.author	Хорошайло, Ю. Е.
dc.contributor.author	Мулявка, О. В.
dc.contributor.author	Сова, А. В.
dc.date.accessioned	2018-05-16T08:58:53Z
dc.date.available	2018-05-16T08:58:53Z
dc.date.issued	2017
dc.description.abstract	В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления	uk_UA
dc.identifier.citation	Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А. Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявка, А. В. Сова // Вісник національного технічного університету «ХПІ», серія «Електроенергетика та перетворювальна техніка». – 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/5203
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХПІ	uk_UA
dc.subject	тонкая электропроводящая пленка	uk_UA
dc.subject	толщина и форма пленки	uk_UA
dc.subject	пористость структур	uk_UA
dc.subject	поверхностная плотность островков	uk_UA
dc.title	Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication