Публікація:
Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorГурин, В. Н.
dc.contributor.authorФирсов, А. Г.
dc.contributor.authorГурин, Д. В.
dc.date.accessioned2018-07-23T07:37:52Z
dc.date.available2018-07-23T07:37:52Z
dc.date.issued2012
dc.descriptionСтатья состоит из двух разделов:Анализи методы получения наноструктурированных диэлектрических пленок, математическое моделирование процесса напыления диэлектрических пленок и определение оптимальных управляющих воздействий;выводов и рекомендаций по дальнейшему направлению исследованийuk_UA
dc.description.abstractВ статье приведены математические модели процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных ионно-плазменным методом распыления кремния в атмосфере кислорода, азота и их смесей. Определены оптимальные управляющие воздействия параметров напыления, применение которых дает возможность получать качественные диэлектрические пленки с заданными параметрами. Приведеныe оптимальные управляющие воздействия могут быть использованы для АСУТП получения пленок.uk_UA
dc.identifier.citationГурин В. Н. Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления /В. Н. Гурин, А. Г. Фирсов, Д. В. Гурин // Автоматизированные системы управления и приборы автоматики.Всеукраинский межведомственный научно-технический сборник.-2012-Выпуск 161-С.74-77uk_UA
dc.identifier.issn0135-1710
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/6624
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХарьковский Национальный Университет Радиоэлектроникиuk_UA
dc.subjectдиэлектрические пленкиuk_UA
dc.subjectионнно-плазменное траспылениеuk_UA
dc.titleМатематические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыленияuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
Математические модели.Office Word.doc
Розмір:
223 KB
Формат:
Microsoft Word
Опис:
Основная статья
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра економічної кібернетики та управління економічною безпекою (ЕК)