Публікація: Використання сучасних тонкоплівкових технологій у відновлювальній енергетиці
Завантаження...
Дата
2019
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
Проведено огляд технологій одержаний плівок аморфного кремнію та параметрів плівок, що вони забезпечують, проведено розрахунок оптимальної відстані мішень-підкладка для рівномірного нанесення плівок на підкладку. Отримані зразки плівок аморфного кремнію та проведення вимірювання оптичної прозорості зразків у спектральному діапазоні 400-900 нм. Розроблено конструкція вимірювальної оснастки для контролю фотоелектричних властивостей плівок. Проведено вимірювання темнового та світлового опору зразків плівок.
Опис
Ключові слова
аморфні плівки, кремній, магнетрон, поглинання
Бібліографічний опис
Кувакін А. В. Використання сучасних тонкоплівкових технологій у відновлювальній енергетиці : атестаційна робота здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 171 Електроніка / А. В. Кувакін : М-во освіти і науки України, ХНУРЕ. – Харків, 2019. - 52 с.