Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС

Филипенко, О. І.; Чала, О. О.

Публікація:
Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС

dc.contributor.author	Филипенко, О. І.
dc.contributor.author	Чала, О. О.
dc.date.accessioned	2018-11-29T08:55:55Z
dc.date.available	2018-11-29T08:55:55Z
dc.date.issued	2018
dc.description.abstract	У статті розглядаються методи контролю якості поверхонь виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС для реалізації задачі технологічного забезпечення контролю якості та для подальшого удосконалення на етапі готової продукції. За проведеними дослідженнями обирається метод неруйнівного контролю якості, а саме інтерференційний метод контролю.	uk_UA
dc.identifier.citation	Филипенко, О. І. Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС / О. І. Филипенко, О. О. Чала, Ю. В. Бондаренко // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – С. 3–7.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/7427
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Державне підприємство Науково-дослідний технологічний інститут приладобудування	uk_UA
dc.subject	контроль якості	uk_UA
dc.subject	функціональні поверхні	uk_UA
dc.subject	електронна техніка	uk_UA
dc.subject	МЕМС	uk_UA
dc.subject	МОЕМС	uk_UA
dc.subject	інтерферометр	uk_UA
dc.title	Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication