Побудова математичних моделей оцінки електричних параметрів конденсаторів на етапах їх виробництва

Abstract

Робота присвячена рішенню актуальної проблеми оцінювання та прискореної оцінки якості параметрів конденсаторів ще до закінчення технологічного процесу формовки анодів - одного з основних процесів при виготовленні оксидно-напівпровідникових конденсаторів. Складність вирішення цієї задачі обумовлена залежністю процесу формовки від багатьох факторів. Було обране ортогональне планування другого порядку для чотирьох факторів, розроблені плани експерименту, складені матриці планування і розраховані коефіцієнти залежностей. Одержані рівняння регресії дозволяють проводити прискорену оцінку якості сформованої діелектричної плівки та прогнозувати значення електричних параметрів анодів конденсаторів в залежності від значень факторів, що впливають на результат формовки.