Дослідження технологій та методів обробки монокристалічних матеріалів

Левченко, Є. О.; Мажара, А. Є.; Юрков, Д. В.

Публікація:
Дослідження технологій та методів обробки монокристалічних матеріалів

dc.contributor.author	Левченко, Є. О.
dc.contributor.author	Мажара, А. Є.
dc.contributor.author	Юрков, Д. В.
dc.date.accessioned	2021-01-07T16:59:00Z
dc.date.available	2021-01-07T16:59:00Z
dc.date.issued	2020
dc.description.abstract	У статті розглянуто технології і методи, що впливають на якість шліфування та полірування монокристалічних матеріалів. Обробка та створення монокристалічних матеріалів з заданими технічними характеристиками у великій мірі залежить від технології їх формоутворення, тобто від шліфувальних паст, абразивних матеріалів, алмазних порошків. Матеріали після різання мають різні дефекти: неплощинність, непаралельність площин, вигин, глибокий порушений шар і великий розкид по товщині. Тому необхідна подальша обробка шліфуванням і поліруванням, які є важливими процесами для будь-якої технології формоутворення в мікроелектромеханічних, і взагалі електронних пристроях та компонентах.	uk_UA
dc.identifier.citation	Левченко Є. О. Дослідження технологій та методів обробки монокристалічних матеріалів / Є. О. Левченко, А. Є. Мажара, Д. В. Юрков // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2020) [Електронний ресурс] : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – Вип. 2. – С. 252-256.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/14076
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	адгезія	uk_UA
dc.subject	емульсії	uk_UA
dc.subject	зернистість	uk_UA
dc.subject	монокристалічні матеріали
dc.subject	методи обробки
dc.title	Дослідження технологій та методів обробки монокристалічних матеріалів	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication