Публікація:
Розробка мікрорезонатору МЕМС

dc.contributor.authorЗолкін, Г. П.
dc.date.accessioned2026-03-03T13:39:16Z
dc.date.issued2025
dc.description.abstractОб’єкт дослідження – засоби проєктування мікро електромеханічних систем. Метод дослідження – аналітичний. Мета роботи – метою даної кваліфікаційної роботи є дослідження систем автоматизованого проєктування МЕМС, розробка мікро приводу із застосуванням САПР. Актуальність теми – розвиток систем автоматизованого проєктування мікросистем надає можливість спростити інтеграцію МЕМС в сучасну мікроелектроніку.
dc.identifier.citationЗолкін Г. П. Розробка мікрорезонатору МЕМС : пояснювальна записка до кваліфікаційної роботи здобувача вищої освіти на першому (бакалаврському) рівні, спеціальність 153 Мікро- та наносистемна техніка / Г. П. Золкін ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2025. – 39 с.
dc.identifier.urihttps://openarchive.nure.ua/handle/document/33856
dc.language.isouk
dc.subjectМЕМС
dc.subjectпроєктування мікросистем
dc.subjectмікрорезонатор
dc.titleРозробка мікрорезонатору МЕМС
dc.typeOther
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Завантаження...
Зображення мініатюри
Назва:
2025_B_MEEPP_Zolkin_GP.pdf
Розмір:
881.65 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Завантаження...
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
10.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: