Публікація: Розробка мікрорезонатору МЕМС
| dc.contributor.author | Золкін, Г. П. | |
| dc.date.accessioned | 2026-03-03T13:39:16Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.description.abstract | Об’єкт дослідження – засоби проєктування мікро електромеханічних систем. Метод дослідження – аналітичний. Мета роботи – метою даної кваліфікаційної роботи є дослідження систем автоматизованого проєктування МЕМС, розробка мікро приводу із застосуванням САПР. Актуальність теми – розвиток систем автоматизованого проєктування мікросистем надає можливість спростити інтеграцію МЕМС в сучасну мікроелектроніку. | |
| dc.identifier.citation | Золкін Г. П. Розробка мікрорезонатору МЕМС : пояснювальна записка до кваліфікаційної роботи здобувача вищої освіти на першому (бакалаврському) рівні, спеціальність 153 Мікро- та наносистемна техніка / Г. П. Золкін ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2025. – 39 с. | |
| dc.identifier.uri | https://openarchive.nure.ua/handle/document/33856 | |
| dc.language.iso | uk | |
| dc.subject | МЕМС | |
| dc.subject | проєктування мікросистем | |
| dc.subject | мікрорезонатор | |
| dc.title | Розробка мікрорезонатору МЕМС | |
| dc.type | Other | |
| dspace.entity.type | Publication |
Файли
Оригінальний пакунок
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- 2025_B_MEEPP_Zolkin_GP.pdf
- Розмір:
- 881.65 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Пакунок ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 10.74 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: