Публікація: Розробка мікрорезонатору МЕМС
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Анотація
Об’єкт дослідження – засоби проєктування мікро електромеханічних систем. Метод дослідження – аналітичний. Мета роботи – метою даної кваліфікаційної роботи є дослідження систем автоматизованого проєктування МЕМС, розробка мікро приводу із застосуванням САПР. Актуальність теми – розвиток систем автоматизованого проєктування мікросистем надає можливість спростити інтеграцію МЕМС в сучасну мікроелектроніку.
Опис
Ключові слова
МЕМС, проєктування мікросистем, мікрорезонатор
Цитування
Золкін Г. П. Розробка мікрорезонатору МЕМС : пояснювальна записка до кваліфікаційної роботи здобувача вищої освіти на першому (бакалаврському) рівні, спеціальність 153 Мікро- та наносистемна техніка / Г. П. Золкін ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2025. – 39 с.