Публікація:
Модернизация конструкции подложкодержателя установки ВУП-5М для нанесения пленок SiO

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorМаковская, Е. Г.
dc.contributor.authorБондаренко, И. Н.
dc.date.accessioned2019-05-19T21:37:34Z
dc.date.available2019-05-19T21:37:34Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractThe proposed design allows for the deposition of SiO-based coatings on a batch of 6 glass or plastic lenses in the thickness for this purpose.uk_UA
dc.identifier.citationМаковская Е. Г. Модернизация конструкции подложкодержателя установки ВУП-5М для нанесения пленок SiO / Е. Г. Маковская, И. Н. Бондаренко // Радіоелектроніка та молодь у ХХІІ столітті : зб. тез. доп. ХХI Харків. конф. молодих науковців, 17–19 квіт. 2018 р. – Харків, 2018. – С. 53.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/8823
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЕuk_UA
dc.subjectподложкодержательuk_UA
dc.subjectнанесение пленокuk_UA
dc.titleМодернизация конструкции подложкодержателя установки ВУП-5М для нанесения пленок SiOuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
Modernizatsiya_konstruktsii_podlozhkoderzhatelya_ustanovki.pdf
Розмір:
293.6 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕЕПП)