Публікація:
О возможности достижения пикометровой разрешающей способности при частотных измерения нано размеров

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorМачехин, Ю. П.
dc.contributor.authorДанелян, А. Г.
dc.contributor.authorГарибашвили, Д. И.
dc.contributor.authorКанкия, Р. Р.
dc.contributor.authorМкртычан, С. А.
dc.date.accessioned2019-05-16T21:55:50Z
dc.date.available2019-05-16T21:55:50Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractВ лучших системах с применением лазерных интерферометров перемещений (ЛИП), которые созданы для метрологического обеспечения измерений длин в нанометровом диапазоне, обеспечиваются измерения малых длин в диапазоне (10-9310-6)м с разрешающей способностью порядка 0,030,02 нм. В то же время, повышение требований к точности измерений длины, а также интенсивное развитие средств измерений в области нанометрологии требует создания нового поколения эталонов и образцовых средств измерений, расширяющего диапазон измерений в область малых длин до 10-10м. Не рассматривая влияния внешних воздействий (механических вибраций, температуры окружающей среды, и др.), представляется, что одними из основных причин, которые не позволяют расширить диапазон измерений до 10-10м (при повышении разрешающей способности), являются ограничения, вносимые внутренними элементами системы интерферометра.uk_UA
dc.identifier.citationО возможности достижения пикометровой разрешающей способности при частотных измерения нано размеров / Ю. П. Мачехин, А. Г. Данелян, Д. И. Гарибашвили, Р. Р. Канкия, С. А. Мкртычан // Измерительная техника - 2010. - №3 - С. 18-23.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/8712
dc.language.isoruuk_UA
dc.subjectединицы длиныuk_UA
dc.subjectнаноразмерные измеренияuk_UA
dc.subjectчастотные измеренияuk_UA
dc.titleО возможности достижения пикометровой разрешающей способности при частотных измерения нано размеровuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
Тбилиси_Кацивели.doc
Розмір:
72.5 KB
Формат:
Microsoft Word
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра фізичних основ електронної техніки (ФОЕТ)