Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии

Abstract

Using of scanning probe microscopes for material analysis is the prospective area of modern microelectronics. In present work actual questions of scanning microwave microscope signal processing are considered. Микроволновая сканирующая микроскопия (МСМС) является прогрессивным инструментом для решения задач диагностики характеристик материалов микро- и наноэлектроники. Суть метода заключается в измерении интегральных характеристик СВЧ-резонатора, который имеет высокую чувствительность к параметрам исследуемого объекта, внесенного в активную зону резонатора.