Публікація:
Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorГордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.authorКарнаушенко, В. П.
dc.contributor.authorЧхотуа, М. С. Е.
dc.date.accessioned2016-08-02T10:30:19Z
dc.date.available2016-08-02T10:30:19Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractUsing of scanning probe microscopes for material analysis is the prospective area of modern microelectronics. In present work actual questions of scanning microwave microscope signal processing are considered. Микроволновая сканирующая микроскопия (МСМС) является прогрессивным инструментом для решения задач диагностики характеристик материалов микро- и наноэлектроники. Суть метода заключается в измерении интегральных характеристик СВЧ-резонатора, который имеет высокую чувствительность к параметрам исследуемого объекта, внесенного в активную зону резонатора.uk_UA
dc.identifier.citationГордиенко, Ю. Е.Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко // Функциональная база наноэлектроники : сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., 30 сент. – 3 окт. 2011 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2011. – С. 254–257.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/1729
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectнаноэлектроникаuk_UA
dc.subjectмикроволновая микроскопияuk_UA
dc.subjectСВЧ-резонаторuk_UA
dc.subjectмедтехникаuk_UA
dc.titleОбработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопииuk_UA
dc.typeConference proceedingsuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
2525.doc
Розмір:
444.5 KB
Формат:
Microsoft Word
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕЕПП)