Публікація: Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников
| dc.contributor.author | Левыкин, В. М. | |
| dc.contributor.author | Шевченко, И. В. | |
| dc.date.accessioned | 2017-06-12T14:01:34Z | |
| dc.date.available | 2017-06-12T14:01:34Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.description.abstract | Запропоновано модель інформаційно-аналітичної системи управління якістю процесу вирощування монокристалів, яка містить підсистему моніторингу температурних полів, багатокомпонентну математичну модель процесу вирощування, підсистему підтримки прийняття оперативних рішень з корекції режиму вирощування, підсистему оптимізації параметрів теплового екрана ростової установки. In the paper, the authors have presented a new developed model of information and analytical quality control system for single-crystals growing. The model includes a temperature patterns monitoring sub-system, a multicomponent mathematical model of the growing process, a support sub-system for immediate decision making to correct the growth regime, and a sub-system for the parameters optimization of a heat shield of the growing facility. Introduction of the system offered allows for the growing process enhancement in terms of the outgoing product quality. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Левыкин В. М. Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников / В. М. Левыкин, И. В. Шевченко // Вісник Академії митної служби України. – 2014. – № 2. – С. 63–71. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | http://openarchive.nure.ua/handle/document/3853 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.subject | информационно-аналитическая система | uk_UA |
| dc.subject | процесс выращивания | uk_UA |
| dc.title | Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dspace.entity.type | Publication |
Файли
Оригінальний пакет
1 - 1 з 1
Ліцензійний пакет
1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 9.42 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: