Публікація:
Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorЛевыкин, В. М.
dc.contributor.authorШевченко И. В.
dc.date.accessioned2017-06-12T14:01:34Z
dc.date.available2017-06-12T14:01:34Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractЗапропоновано модель інформаційно-аналітичної системи управління якістю процесу вирощування монокристалів, яка містить підсистему моніторингу температурних полів, багатокомпонентну математичну модель процесу вирощування, підсистему підтримки прийняття оперативних рішень з корекції режиму вирощування, підсистему оптимізації параметрів теплового екрана ростової установки. In the paper, the authors have presented a new developed model of information and analytical quality control system for single-crystals growing. The model includes a temperature patterns monitoring sub-system, a multicomponent mathematical model of the growing process, a support sub-system for immediate decision making to correct the growth regime, and a sub-system for the parameters optimization of a heat shield of the growing facility. Introduction of the system offered allows for the growing process enhancement in terms of the outgoing product quality.uk_UA
dc.identifier.citationЛевыкин В. М., Шевченко И. В. Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников // Вісник Академії митної служби України. – 2014. – № 2. – С. 63–71.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/3853
dc.language.isoruuk_UA
dc.subjectинформационно-аналитическая системаuk_UA
dc.subjectмониторингuk_UA
dc.subjectпроцесс выращиванияuk_UA
dc.titleМодель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводниковuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
Шевченко_Левыкин.doc
Розмір:
114 KB
Формат:
Microsoft Word
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра інформаційних управляючих систем (ІУС)