Публікація: Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков
| dc.contributor.author | Гордиенко, Ю. Е. | |
| dc.contributor.author | Ларкин, С. Ю. | |
| dc.contributor.author | Щербак, Е. Л. | |
| dc.contributor.author | Слипченко, Н. И. | |
| dc.date.accessioned | 2016-05-30T19:17:03Z | |
| dc.date.available | 2016-05-30T19:17:03Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.description.abstract | В настоящее время практическое использование сверхвысокочастотного (СВЧ) диапазона электромагнитных колебаний сравнимо с оптическим. Однако только недавно стала развиваться область СВЧ техники, связанная с ближнеполевым взаимодействием СВЧ источника с объектами. Особо перспективными ее направлениями являются сканирующая микроволновая микроскопия (СММ) [1, 2] и СВЧ микротехнологии (СМТ). Последние еще только устанавливаются несмотря на известные достижения СВЧ нагрева крупноразмерных объектов. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, Н. И. Слипченко, Е. Л. Щербак // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Харьков, 2014. – Вып. 177. – С. 98 – 104. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | http://openarchive.nure.ua/handle/document/475 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | ХНУРЭ | uk_UA |
| dc.subject | СВЧ техника | uk_UA |
| dc.subject | СВЧ микротехнологии | uk_UA |
| dc.subject | СВЧ разогрев | uk_UA |
| dc.title | Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dspace.entity.type | Publication |
Файли
Оригінальний пакет
1 - 1 з 1
Ліцензійний пакет
1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 9.42 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: