Публікація:
Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorГордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.authorЛаркин, С. Ю.
dc.contributor.authorЩербак, Е. Л.
dc.contributor.authorСлипченко, Н. И.
dc.date.accessioned2016-05-30T19:17:03Z
dc.date.available2016-05-30T19:17:03Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractВ настоящее время практическое использование сверхвысокочастотного (СВЧ) диапазона электромагнитных колебаний сравнимо с оптическим. Однако только недавно стала развиваться область СВЧ техники, связанная с ближнеполевым взаимодействием СВЧ источника с объектами. Особо перспективными ее направлениями являются сканирующая микроволновая микроскопия (СММ) [1, 2] и СВЧ микротехнологии (СМТ). Последние еще только устанавливаются несмотря на известные достижения СВЧ нагрева крупноразмерных объектов.uk_UA
dc.identifier.citationКинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, Н. И. Слипченко, Е. Л. Щербак // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Харьков, 2014. – Вып. 177. – С. 98 – 104.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/475
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectСВЧ техникаuk_UA
dc.subjectСВЧ микротехнологииuk_UA
dc.subjectСВЧ разогревuk_UA
dc.titleКинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриковuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
стр.098-104.doc
Розмір:
793.5 KB
Формат:
Microsoft Word
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕЕПП)