Публікація:
Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorГордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.authorПятайкина, М. И.
dc.contributor.authorЛаркин, С. Ю.
dc.contributor.authorПолищук, А. В.
dc.contributor.authorПроказа, А. М.
dc.contributor.authorСлипченко, Н. И.
dc.date.accessioned2019-05-31T12:21:17Z
dc.date.available2019-05-31T12:21:17Z
dc.date.issued2013
dc.description.abstractИсследуются особенности применения микроволнового излучения как средства высоколокального нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи ближнеполевых СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предлагается вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно-временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. Показывается, что при определенном соотношении параметров пленки и подложки возможно также осуществить геттерирование дефектов из подложки.uk_UA
dc.identifier.citationЧисленное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко, М. И. Пятайкина, С. Ю. Ларкин и др. // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – № 4. – С. 8-13.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/9074
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectвысоколокальный СВЧ нагревuk_UA
dc.subjectСВЧ микроскопияuk_UA
dc.titleЧисленное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структурuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
RI_2013.pdf
Розмір:
1.78 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕЕПП)