Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур

Гордиенко, Ю. Е.; Пятайкина, М. И.; Ларкин, С. Ю.; Полищук, А. В.; Проказа, А. М.; Слипченко, Н. И.

Публікація:
Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Пятайкина, М. И.
dc.contributor.author	Ларкин, С. Ю.
dc.contributor.author	Полищук, А. В.
dc.contributor.author	Проказа, А. М.
dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.date.accessioned	2019-05-31T12:21:17Z
dc.date.available	2019-05-31T12:21:17Z
dc.date.issued	2013
dc.description.abstract	Исследуются особенности применения микроволнового излучения как средства высоколокального нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи ближнеполевых СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предлагается вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно-временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. Показывается, что при определенном соотношении параметров пленки и подложки возможно также осуществить геттерирование дефектов из подложки.	uk_UA
dc.identifier.citation	Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко, М. И. Пятайкина, С. Ю. Ларкин и др. // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – № 4. – С. 8-13.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/9074
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	высоколокальный СВЧ нагрев	uk_UA
dc.subject	модификация	uk_UA
dc.subject	СВЧ микроскопия	uk_UA
dc.title	Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication