Моделювання магнітного поля мрс вакуумної установки ВУП-5М

Падалко, Є. О.

Публікація:
Моделювання магнітного поля мрс вакуумної установки ВУП-5М

dc.contributor.author	Падалко, Є. О.
dc.date.accessioned	2021-11-29T13:46:03Z
dc.date.available	2021-11-29T13:46:03Z
dc.date.issued	2021
dc.description.abstract	The main objective of the article is modification of the laboratory vacuum plant in order to secure the stable work regime in high vacuum conditions. The article offers the analysis of various configurations of the magnetron sputtering systems executed by modeling the magnetic field distribution for each configuration using "ELCUT" and constructing graphs based on the obtained data. Obtained relationships between magnetic induction and the distance to the face of the magnet show the advantage of the modified device in aforementioned working conditions.	uk_UA
dc.identifier.citation	Падалко Є. О. Моделювання магнітного поля мрс вакуумної установки ВУП-5М / Є. О. Падалко, науковий керівник – старший викл. Бендеберя Г. Н. // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : матеріали 25-го Міжнар. молодіжн. форуму, 20-22 квітня 2021 р. – Харків : ХНУРЕ, 2021. – Т. 1. – С. 29–30.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/18492
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	температура навколишнього середовища	uk_UA
dc.subject	літій-полімерний акумулято	uk_UA
dc.title	Моделювання магнітного поля мрс вакуумної установки ВУП-5М	uk_UA
dc.type	Conference proceedings	uk_UA
dspace.entity.type	Publication