Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок

Невлюдов, И. Ш.; Гурин, В. Н.; Гурин, Д. В.

Публікація:
Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок

dc.contributor.author	Невлюдов, И. Ш.
dc.contributor.author	Гурин, В. Н.
dc.contributor.author	Гурин, Д. В.
dc.date.accessioned	2018-11-22T14:07:16Z
dc.date.available	2018-11-22T14:07:16Z
dc.date.issued	2018
dc.description.abstract	Приводятся результаты экспериментальных исследований электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов.	uk_UA
dc.identifier.citation	Невлюдов И. Ш. Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок / И. Ш. Невлюдов, В. Н. Гурин, Д. В. Гурин // Фізичні процеси та поля технічних і біологічних об'єктів : матеріали ХVII Міжнар. наук.-техн. конф. , 2-4 листоп. 2018 р. – Кременчук : Кременчуц. нац. ун-т ім. М. Остроградського, 2018. – С. 139-141.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/7339
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Кременчуцький національний університет ім. М. Остроградського	uk_UA
dc.subject	диэлектрические пленки	uk_UA
dc.subject	вольтамперные характеристики	uk_UA
dc.subject	электрические свойства пленок	uk_UA
dc.subject	катодное распыление	uk_UA
dc.title	Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок	uk_UA
dc.type	Abstract of Thesis	uk_UA
dspace.entity.type	Publication