Публікація:
Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorНевлюдов, И. Ш.
dc.contributor.authorГурин, В. Н.
dc.contributor.authorГурин, Д. В.
dc.date.accessioned2018-11-22T14:07:16Z
dc.date.available2018-11-22T14:07:16Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractПриводятся результаты экспериментальных исследований электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов.uk_UA
dc.identifier.citationНевлюдов И. Ш. Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок / И. Ш. Невлюдов, В. Н. Гурин, Д. В. Гурин // Фізичні процеси та поля технічних і біологічних об'єктів : матеріали ХVII Міжнар. наук.-техн. конф. , 2-4 листоп. 2018 р. – Кременчук : Кременчуц. нац. ун-т ім. М. Остроградського, 2018. – С. 139-141.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/7339
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherКременчуцький національний університет ім. М. Остроградськогоuk_UA
dc.subjectдиэлектрические пленкиuk_UA
dc.subjectвольтамперные характеристикиuk_UA
dc.subjectэлектрические свойства пленокuk_UA
dc.subjectкатодное распылениеuk_UA
dc.titleВлияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленокuk_UA
dc.typeAbstract of Thesisuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
XVII_FIZPOLYA_2018_v7_all_end_small_140-142.pdf
Розмір:
434 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра комп’ютерно-інтегрованих технологій, автоматизації та робототехніки (КІТАР)